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3D線形測量儀

日期: 2021-11-30
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在線AOI-100系列



設備特點

? ? ? ??3D線型測量儀主要用于掃描PCB蝕刻板的特定線路區域的導體基材形態獲得3D點云數據進而測量得到相關的高精度尺寸數據。該測量儀通過白光干涉原理可獲得導體線路的上下幅寬、導體線間線距、導線銅厚,表面粗糙度等形態數據,并具備以下優點:?

●?采用非接觸式測量技術,不破壞待測量物體表面。

●?面測量而非逐點掃描,量測速度快而準,精度可達um級。

●?可使用CAM資料導入方式指定測量取樣點,程序自動對位自動查找取樣區域并測量。

●?一次測量可以獲得線寬/線距/導體銅厚/極差等高精度數據結果,并可輸出報表。



設備規格

機臺型號

LGCT-3D

機臺尺寸 L×W×H

2150×1780×1950mm

整機重量

?1600KG

電源需求

3P/AC380+N+PE ?4KW

壓縮氣壓

φ8mm?PU?TUBE 3-5kgf/cm2 1L/min?

工序段

蝕刻后/阻焊前

測量視場范圍

3.0×1.5mm ?/?3.0×3.0mm

測量點選取方式

??1.手動選點 ???2.CAM導入自動選點

板厚范圍

0.1 ~ 10 mm (3.9 ~ 393mil)

線寬測量重復精度

±1um?(RMS)

銅箔厚測量范圍

12 ~ 300um ?(0.5 ~ 11.8mil)

線寬測量范圍

15 ~?3000um (0.6 ~?118mil)

線距測量范圍

15 ~?2800um (0.6 ~110mil)

定位精度

??±0.01mm

線路區單點測量時間

普通測量 ??+??銅厚精測:?3.0×1.5mm 3s+1s ;

大視場測量??+??銅厚精測:?3.0×3.0mm 4s+2s ; ?

檢測方法

白光干涉測量法 /?對位自動測量

CAM 數據格式

支持ODB++文件格式

操作界面

WIN 10 64 Bit Enterprise 支持中英文

最大檢測尺寸(H*W)

?28.5 ×?26 Inch(724 ×?660mm)



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